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EUV lithography
中国研究人员绕过美国出口管制,在未使用ASML先进EUV光刻设备的情况下实现sub-3-nm半导体加工。
Ann Cao / 南华早报 — 科技:中国研究人员实现亚3纳米半导体加工,无需先进EUV光刻,绕过美国出口管制。突破采用较旧的光刻……
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· 1 个来源 · 25 天前
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